白光干涉仪

适用于半导体晶圆和精密光学元件等高要求应用场景

        工业级白光干涉仪,能够实现实时、非接触式检测,适用于半导体晶圆和精密光学元件等高要求应用场景,并通过先进的相移算法显著降低测量不确定性。