其他光学检测仪器
极紫外Hartmann波前传感器
适用于极紫外、深紫外等超短波长光束质量测量
极紫外Hartmann波前传感器,能够同时对极紫外的相位和强度进行直接测量,适用于极紫外、深紫外等超短波长光束质量测量及其光学系统的装调。